描述：愛(ài)德華EH4200羅茨泵維修應(yīng)用

半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

愛(ài)德華EH4200羅茨泵維修

EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

功能和優(yōu)勢(shì)
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過(guò)3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高

抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
1、安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。
2、牢靠且防腐蝕。
3、*的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
4、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
5、經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。

6、軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

7、動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備

由二臺(tái)或二臺(tái)以上的真空泵及其他附件組合一個(gè)體系完結(jié)需求的到達(dá)真空度的意圖就叫真空泵體系 
真空泵體系規(guī)劃的要害問(wèn)題是挑選真空抽氣機(jī)組的主泵主泵類型的斷定
1、依據(jù)真空室所需求樹(shù)立的極限壓力斷定主泵的類型。通常主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、依據(jù)真空室進(jìn)行技術(shù)出產(chǎn)時(shí)所需求的作業(yè)壓力選主泵。應(yīng)正確地挑選主泵的作業(yè)點(diǎn)，在其作業(yè)壓力規(guī)模內(nèi) 愛(ài)德華eh4200羅茨泵維修，應(yīng)能掃除真空室內(nèi)技術(shù)過(guò)程中發(fā)生的悉數(shù)氣體量。因此，真空室內(nèi)的作業(yè)壓力必定要在主泵的---抽速壓力規(guī)模以內(nèi)。

3、依據(jù)真空室的容積巨細(xì)和需求的抽氣時(shí)刻來(lái)選主泵。真空室體積巨細(xì)對(duì)體系抽到極限真空的時(shí)刻有影響。當(dāng)抽氣時(shí)刻需求必守時(shí)，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

4、正確地組合真空泵 愛(ài)德華eh2600羅茨泵維修，因?yàn)檎婵毡糜刑暨x性地抽氣，因此有時(shí)選用一種泵不能滿意抽氣需求，需求幾種泵組合起來(lái)，互相彌補(bǔ)才干滿意抽氣需求。

5、若真空體系嚴(yán)厲需求無(wú)油時(shí)，則應(yīng)當(dāng)選各種無(wú)油泵作主泵。假如需求不嚴(yán)厲，則可挑選有油泵，然后加上一些防油污染辦法 愛(ài)德華eh1200羅茨泵維修，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能到達(dá)清洗真空需求。

愛(ài)德華EH4200羅茨泵維修